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    硅單晶晶片定向儀

    硅單晶晶片定向儀

    • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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    • 發布日期:2015/11/10
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    硅單晶晶片定向儀

    DX-7A硅單晶晶片定向儀(7AC7AS7AZ)

    功能:該儀器主要用于測定切割后的硅單晶晶片表面及參考面的角度,也可用于測定其它種類單晶材料的晶片。儀器配有吸氣泵??蓽y定直徑為 3-8 英寸的晶片,測定晶面為 100 、 110 、 111 、 210 等。該儀器為雙工作臺,可同時完成相同任務,也可分別測定晶片表面和參考面,根據用戶需要配置。

    技術參數:

    項目

    參     

    輸入電源

    單相交流220V,50Hz,0.3KW.

    Z大管電壓

    30kV

    管電流

    0-5mA連續可調

    接收器

    蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

    X射線管

    銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

    測定角度

    2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

    綜合精度

    ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

    Z小讀數

    1

    外形尺寸

    1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

    儀器重量

    300kg。

     


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