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    硅單晶晶棒參考邊端面定向儀

    硅單晶晶棒參考邊端面定向儀

    • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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    • 發布日期:2015/11/10
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    詳細介紹

    硅單晶晶棒參考邊端面定向儀

    DX-7B硅單晶晶棒參考邊、端面定向儀(7BC7BS7BZ)

    功能:此型儀器主要用于硅單晶錠的定向,也可用于其它種單晶錠(棒)的端面定向。

    DX-7B型:手動上下樣品。手動測量尋峰。

    DX-7BC型:具有實測角度顯示、差值角度顯示功能。(差值:實際測量值與標準角度的差值)

    DX-7BS型:具有實測角度顯示、差值顯示及數據導出功能。(客戶自備電腦)

    DX-7BZ型:具有自動測量、實測角度顯示、差值顯示、數據導出功能。(客戶自備電腦)

    技術參數:

    項目

    參     

    輸入電源

    單相交流220V,50Hz,0.3KW.

    Z大管電壓

    30kV

    管電流

    0-5mA連續可調

    接收器

    蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

    X射線管

    銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

    測定角度

    2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

    綜合精度

    ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

    Z小讀數

    1

    外形尺寸

    1132(長)×642(寬)×1200(高)mm

    儀器重量

    300kg。

     


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