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    硅單晶錠粘結儀

    硅單晶錠粘結儀

    • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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    • 發布日期:2015/11/10
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    詳細介紹

    硅單晶錠粘結儀

    DX-7CF硅單晶錠復檢儀

    功能:此型儀器專門用于硅單晶錠定向、粘結后復檢。待測晶錠在我公司的DX-7C型X射線定向儀定向,在DX-7CZ型粘料儀上粘結后,Z終在本儀器上復檢,和多線切割機配套使用。

    特點:此儀器具有一個工作臺,工作臺上有托板和料板(工件板)的定位、夾緊裝置。晶錠與墊條(石墨/玻璃/樹脂)、料板粘結后一起裝在上述裝置定位夾緊,其端面在x射線照射下進行復檢,每個料板只可復檢兩塊晶錠。

    技術參數:

    項目

    參     

    輸入電源

    單相交流220V,50Hz,0.3KW.

    Z大管電壓

    30kV

    管電流

    0-5mA連續可調

    接收器

    蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V。

    X射線管

    銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

    外形尺寸

    1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

    儀器重量

    300kg。

    晶錠直徑

    5-8英寸

    晶錠Z大長度

    500mm

    測定晶面

    111向、100向

    定向精度

    ±30"(用標準石英片10ī1面測量)

    Z小讀數

    1"

    晶錠轉角(&)

    ±10°

    料板Z大長度

    500mm

    料板寬度

    70mm、100mm


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