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    硅單晶錠定向儀

    硅單晶錠定向儀

    • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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    • 發布日期:2015/11/10
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    詳細介紹

    硅單晶錠定向儀

    DX-7C硅單晶錠定向儀

    功能:此型儀器專門用于硅單晶錠的定向,和多線切割機配套使用,工作臺上有一對滾杠,晶錠放在滾杠上,其端面在x射線照射下定向。

    特點:此儀器晶錠尾端和進口編碼器偶合,細分步到0.001°,用于測定晶錠旋轉角度??蛇M行四方位(0°、90°、180°270°)和二方位(0°、90°)測量。該儀器有一套電腦控制裝置,包括輸入鍵盤、屏幕和打印機,選擇屏幕菜單、鍵入晶錠編號。所需數據,產品要求的切割偏角等。經計算、顯示、打印出晶錠編號,晶錠在料板(工件板)上粘結所必須的自身旋轉角?及擺角&等值。

    技術參數:

    項目

    參     數

    輸入電源

    單相交流220V,50Hz,0.3KW.

    Z大管電壓

    30kV

    管電流

    0-5mA連續可調

    接收器

    蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V。

    X射線管

    銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

    時間常數

    1(快)、2(慢)兩檔

    測定角度

    2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

    外形尺寸

    1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

    儀器重量

    300kg。

    晶錠直徑

    6-8英寸

    晶錠Z大長度

    500mm

    測定晶面

    111向、100向

    定向精度

    ±30"(用標準石英片10ī1面測量)

    Z小讀數

    1"

    晶錠轉角(?)

    ±90°±0.1°

     


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